磁控濺射卷繞鍍膜設備的優點
2021-02-26 來自: 肇慶高要區恒譽真空技術有限公司 瀏覽次數:2113
磁控濺射卷繞鍍膜設備，磁控濺射具有以下兩大優點：提高等離子密度，從而提高濺射速度;減少轟擊零件的電子數目，因而降低了基材因電子的升溫。
因此，該技術在薄膜技術中占有主導地位。磁控濺射陰極的大缺點：使用平面靶材，靶材在跑道區形成濺射溝道，這溝道一旦貫穿靶材，則整塊靶材即報廢，因而靶材的利用率只有20-30%。
不過，目前為了避免這個缺點，很多靶材采用圓柱靶材形式，靶材利用率得以大幅度提高。
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