多弧鍍膜機的特點

　　多弧鍍膜機的特點

　　多弧鍍膜機的突出特點在于它能產生由高度離化的被蒸發材料組成的等離子體，其中離子具有很高的動能。蒸發、離化、加速都集中在陰極斑點及其附近很小的區域內。那么關于我們的多弧鍍膜機的性能特點都有哪些呢?讓我們一起來學習下吧。

　　(1)入射粒子能量高，涂層的致密度高，強度和耐久性好。

　　(2)離化率高，一般可達60%～80%。

　　(3)一弧多用，電弧既是蒸發源和離化源，又是加熱源和離子濺射清洗的離子源。

　　(4)沉積速度快，繞鍍性好。

　　(5)最顯著的特點是從陰極直接產生等離子體。

　　(6)設備較為簡單，采用低電壓電源工作比較安全。

　　(7)多弧鍍膜機的外加磁場可以改善電弧放電，使電弧細碎，細化涂層微粒，增加帶電粒子的速率，并可以改善陰極靶面刻蝕的均勻性，提高靶材的利用率。